日本Otsuka大塚Smart膜厚儀光學(xué)分析專家-成都藤田科技提供

Smart膜厚儀 vs OPTM顯微分光膜厚儀——革新光學(xué)測量的雙引擎

核心對比與OPTM優(yōu)勢：

1. 技術(shù)差異化：

• OPTM系列：基于分光干涉法，結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng)，實現(xiàn)反射率分析，支持超薄膜（1nm）與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)，技術(shù)解決透明基板干擾。

• Smart膜厚儀：側(cè)重便攜性與快速篩查，適用于常規(guī)單層膜厚測量，但精度與功能擴(kuò)展性不及OPTM系列。

2. 應(yīng)用場景：

• OPTM適用于研發(fā)（R&D）與高精度QC，如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片；Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。

3. 性價比優(yōu)勢：OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度，且操作門檻更低，軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯，確保數(shù)據(jù)可靠性。

產(chǎn)品信息

特點

● 可攜帶至現(xiàn)場的手持式

● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質(zhì)、可測量其鍍膜

測量項目

Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較

與桌上型光學(xué)膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現(xiàn)場"以非破壞式直接量測樣品，且可以量測特殊形狀樣品。

與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品，也不會因為用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚計的量測精度。

與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測非金屬基材并且得到值！

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