產(chǎn)品信息

特點(diǎn)

● 全面高速高精度進(jìn)行薄膜等面內(nèi)膜厚不均一性檢測

● 硬件&軟件均為創(chuàng)新設(shè)計(jì)

● 作為專業(yè)膜厚測定廠商，提供多種支援

● 實(shí)現(xiàn)高精度測量

● 實(shí)現(xiàn)高速測量（500萬點(diǎn)以上/分）

產(chǎn)品規(guī)格

測量例

250mm寬的薄膜案例

核心特點(diǎn)：

1. 微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動XY平臺（200×200mm），實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。

2. 跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì)，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。

3. 安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制，獨(dú)立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。

日本Otsuka大塚 薄膜離線型掃描膜厚儀-成都藤田科技提供

1. 非破壞性高速測量：采用顯微分光技術(shù)，1秒內(nèi)完成單點(diǎn)對焦與測量，支持從紫外（230nm）到近紅外（1600nm）廣波長范圍，覆蓋1nm至92μm膜厚需求，滿足半導(dǎo)體、光學(xué)材料等高精度場景。

2. 透明基板技術(shù)：反射對物鏡設(shè)計(jì)，物理消除基板內(nèi)部反射干擾，實(shí)現(xiàn)玻璃、SiC等透明或異向性基板上的高精度膜厚測量，支持50層以上多層膜解析。

3. 智能建模與易用性：內(nèi)置初學(xué)者模式，簡化光學(xué)常數(shù)（n/k）建模流程，支持宏功能自定義測量序列，可無縫集成自動化產(chǎn)線。