日本OTSUKA大塚Smart膜厚儀成都藤田供應(yīng)

智能膜厚測(cè)量?jī)x具備以下特點(diǎn)，為您解決所有煩惱：
可隨身攜帶至生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的手持式設(shè)計(jì)
可測(cè)量0.1μm單位 操作簡(jiǎn)便，新人也能輕松上手

雖為手持設(shè)備卻可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量

支持對(duì)三維樣品進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)

測(cè)量原理

Smart膜厚儀采用反射分光法(光學(xué)干涉法)測(cè)量薄膜厚度。例如,在測(cè)量基底上的鍍膜時(shí)，從樣品上方入射的光會(huì)在薄膜表面發(fā)生反射(圖中R1)。而穿透薄膜的光會(huì)在基底與薄膜的界面處發(fā)生反射(圖中R2).通過(guò)測(cè)量由光程差異引起的相位偏移(相位差)所產(chǎn)生的光學(xué)干涉現(xiàn)象，可根據(jù)測(cè)得的反射光譜與折射率計(jì)算出薄膜厚度。

Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較

與桌上型光學(xué)膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現(xiàn)場(chǎng)"以非破壞式直接量測(cè)樣品，且可以量測(cè)特殊形狀樣品。

與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會(huì)破壞您的樣品，也不會(huì)因用戶(hù)不同而產(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚的量測(cè)精度。

與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測(cè)非金屬基材并且得到絕對(duì)值！

不需要量測(cè)經(jīng)驗(yàn)，可快速得到精準(zhǔn)的膜厚結(jié)果。

產(chǎn)品規(guī)格

使用場(chǎng)景

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)-量測(cè)試作品

1.攜帶到合作廠商等，直接在現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up

產(chǎn)線-設(shè)定產(chǎn)線參數(shù)、提高良率

1.現(xiàn)場(chǎng)可直接量測(cè)，無(wú)須準(zhǔn)備，量測(cè)時(shí)間短、效率Up

2.產(chǎn)品檢查的早期階段發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，事后的對(duì)策更加靈活

質(zhì)量管理-品管效率Up

1.現(xiàn)場(chǎng)可直接量測(cè)高精度量測(cè)成品，盡早發(fā)現(xiàn)不良品異狀

2.事后的對(duì)策可更加靈活

After Service-活用可攜帶的優(yōu)點(diǎn)

在產(chǎn)品出貨后的客戶(hù)端也可直接帶去量測(cè)。

現(xiàn)場(chǎng)較難量測(cè)的立體物、無(wú)法切割破壞的樣品（例如：窗戶(hù)的Coating等）。

日本OTSUKA大塚Smart膜厚儀成都藤田供應(yīng)